一、產(chǎn)品概述

湛儀科技本產(chǎn)品采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù)，能根據(jù)用戶的需求提供精確的在線流量計(jì)量。傳感器系采用獨(dú)特的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有極高的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對不同的應(yīng)用，傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及 介質(zhì)流速。專門設(shè)計(jì)的電路具有放大及微小信號(hào)處理功能以保證高精度輸出。
   湛儀科技不同于其它MEMS傳感技術(shù)，單個(gè)傳感芯片上集成多個(gè)傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時(shí)，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）。當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí)，溫度場因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量，通過校準(zhǔn)，專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計(jì)介質(zhì)體積流量。  

二、流量芯片測量原理

MEMS質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理的氣體流量測量儀表，它無須溫壓補(bǔ)償，直接測出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點(diǎn)是：可以直接進(jìn)行貿(mào)易結(jié)算；沒有活動(dòng)部件；壓力損失??；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單；操作方便。

金氏定律即熱擴(kuò)散原理。金氏定律：流過熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法?？捎帽磉_(dá)式來具體說明：

P/ △ T=A+B（Q）m

其中P表示消耗功率；△T表示兩個(gè)傳感器之間的溫度差；

Q表示質(zhì)量流量；m表示指數(shù)系數(shù)，

A， B是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。

三、產(chǎn)品應(yīng)用

 科教實(shí)驗(yàn)室

 醫(yī)療單位

 電子單位

各種高純氣體的測量

 各種相關(guān)產(chǎn)品配套使用

 供氣計(jì)量核算

 相關(guān)行業(yè)工廠使用

四、技術(shù)參數(shù)

量程比             100:1

精度               1.5級(jí)

重復(fù)性             ±1.0 %

響應(yīng)時(shí)間            <1秒    

工作電源         3.6V電池或12~24VDC   

輸出方式         RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）

通信協(xié)議         MODBUS(RTU),通信方式：RS485

大流量壓損         100Pa

大工作壓力         1.6MPa

工作溫度           -10~+55℃

儲(chǔ)存溫度           -20~+65℃

工作濕度        10~95%RH(無結(jié)露，無凝露)

顯示內(nèi)容     LCD液晶顯示：瞬時(shí)流量、累積流量

過程連接      標(biāo)準(zhǔn)法蘭；或卡套式緊固件

適用介質(zhì)       不含水分的氣體

凡是用于空氣、天然氣和管道有粉塵的一定帶過濾器，過濾目數(shù)為1微米。

DN25 ：（1″MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；

DN19：（6′MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；

DN10：（4′MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；

1.電池電源線。注：3.6V鋰電池，可內(nèi)置，外置方便電池更換。

2.通訊信號(hào)線。注：RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）

3.外置電源線。注：12~24VDC電源

五、流量范圍：MEMF系列流量計(jì)范圍

產(chǎn)品型號(hào)  通經(jīng)（mm）接口規(guī)格（NPT）流量范圍

MEMF3025    DN25     1″       0.7-70m3/h

MEMF3019    DN19   3/4″      0.4-40 m3/h

MEMF3010    DN10   1/2″      0.1-10 m3/h

MEMF4010    DN10   1/2″      0.06～6 m3/h      1～100 L/min

MEMF4008    DN8    1/2″      0.03～3 m3/h      0.5～50L/min

MEMF4006    DN6    1/2″      0.012～1.2 m3/h      0.2～20 L/min

MEMF5006    DN6    1/4″      0.2～20 L/min     200～20000 ml/min

MEMF5003    DN3    1/4″      0.002～0.2 L/min  2～200 ml/min